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A novel prototyping method for die-level monolithic integration of MEMS above-IC

Cicek, Paul-Vahe et Zhang, Qing et Saha, Tanmoy et Mahdavi, Sareh et Allidina, Karim et Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad. 2013. « A novel prototyping method for die-level monolithic integration of MEMS above-IC ». Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 23, nº 6. 065013.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 17:41
Dernière modification: 13 juill. 2016 17:41
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13192

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