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Low-stress CMOS-compatible silicon carbide surface-micromachining technology-part I: process development and characterization

Nabki, Frederic et Dusatko, Tomas A. et Vengallatore, Srikar et El-Gamal, Mourad N.. 2011. « Low-stress CMOS-compatible silicon carbide surface-micromachining technology-part I: process development and characterization ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 20, nº 3. p. 720-729.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 17:39
Dernière modification: 13 juill. 2016 17:39
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13200

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