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Design of a low-cost MEMS monolithically-integrated relative humidity sensor

Cicek, Paul-Vahe et Saha, Tanmoy et Waguih, Bichoy et Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2010. « Design of a low-cost MEMS monolithically-integrated relative humidity sensor ». In 2010 International Conference on Microelectronics (ICM'10) (Cairo, Egypt, Dec. 19-22, 2010), p. 172-175. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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Type de document: Compte rendu de conférence
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:08
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:08
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13213

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