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A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization

Elsayed, Mohannad et Nabki, Frederic et Sawan, Mohamad et El-Gamal, Mourad. 2011. « A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization ». In 2011 23rd International Conference on Microelectronics (ICM) (Hammamet, Tunisia, Dec. 19-22, 2011), p. 1-5. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..

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Type de document: Compte rendu de conférence
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:05
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:05
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13220

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