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A combined comb / bulk mode gyroscope structure for enhanced sensitivity

Elsayed, Mohannad Y., Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2013. « A combined comb / bulk mode gyroscope structure for enhanced sensitivity ». In IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (Taipei, Taiwan, Jan. 20-24, 2013) pp. 649-652. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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Type de document: Compte rendu de conférence
ISBN: 10846999
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:06
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:06
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13221

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