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Frequency tunable silicon carbide resonators for MEMS above IC

Nabki, Frederic et Dusatko, Tomas A. et El-Gamal, Mourad N.. 2008. « Frequency tunable silicon carbide resonators for MEMS above IC ». In IEEE 2008 Custom Integrated Circuits Conference (CICC) (San Jose, CA, USA, Sept. 21-24, 2008), p. 185-188. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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Type de document: Compte rendu de conférence
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:03
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:03
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13233

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