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Low-temperature (<300°C) low-stress silicon carbide surface micromachining fabrication technology

Nabki, Frederic et Dusatko, Tomas A. et Vengallatore, Srikar et El-Gamal, Mourad N.. 2008. « Low-temperature (<300°C) low-stress silicon carbide surface micromachining fabrication technology ». In Solid-state sensors, actuators, and microsystems workshop : technical digest (Hilton Head Island, SC, USA, June 1-5, 2008), p. 216-219. San Diego, Calif. : Transducer Research Foundation.

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Type de document: Compte rendu de conférence
Éditeurs:
Éditeurs
Turner, Kimberly L.
Spangler, Leland
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:04
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:04
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13234

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