Nabki, Frederic et Dusatko, Tomas A. et Vengallatore, Srikar et El-Gamal, Mourad N..
2008.
« Low-temperature (<300°C) low-stress silicon carbide surface micromachining fabrication technology ».
In Solid-state sensors, actuators, and microsystems workshop : technical digest (Hilton Head Island, SC, USA, June 1-5, 2008), p. 216-219.
San Diego, Calif. : Transducer Research Foundation.
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| Type de document: |
Compte rendu de conférence
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| Éditeurs: |
| Éditeurs |
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| Turner, Kimberly L. | | Spangler, Leland |
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| Professeur: |
| Professeur |
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| Nabki, Frédéric |
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| Affiliation: |
Autres |
| Date de dépôt: |
13 juill. 2016 18:04 |
| Dernière modification: |
13 juill. 2016 18:04 |
| URI: |
http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13234 |
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