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Measurement and analysis of structural damping in silicon carbide microresonators

Prabhakar, Sairam et Nabki, Frederic et Mourad, El-Gamal et Vengallatore, Srikar. 2009. « Measurement and analysis of structural damping in silicon carbide microresonators ». In Microelectromechanical Systems - Materials and Devices II (Boston, MA, USA, Dec. 1-2, 2008) Coll. « MRS Proceedings », vol. 1139. , p. 47-52. Materials Research Society.

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Type de document: Compte rendu de conférence
Informations complémentaires: 2008 MRS Fall Meeting
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:05
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:05
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13238

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