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Low temperature wafer level processing for MEMS devices

El-Gamal, Mourad et Lemoine, Dominique et Cicek, Paul-Vahe et Nabki, Frederic (inventeurs) 2 Avril 2013. « Low temperature wafer level processing for MEMS devices ». The Royal Institution for the Advancement of Learning/McGill University (titulaire(s)). Brevet américain US 8,409,901.

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Type de document: Brevet (Brevet américain)
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:24
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:24
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13250

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