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Low temperature ceramic microelectromechanical structures

Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad et Dusatko, Tomas A. et Vengallatore, Srikar (inventeurs) 6 Décembre 2011. « Low temperature ceramic microelectromechanical structures ». The Royal Institution for the Advancement of Learning/McGill University (titulaire(s)). Brevet américain US 8,071,411.

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Type de document: Brevet (Brevet américain)
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 18:24
Dernière modification: 13 juill. 2016 18:24
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13254

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