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Piezoelectric bulk mode disk resonator post-processed for enhanced quality factor performance

Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic. 2017. « Piezoelectric bulk mode disk resonator post-processed for enhanced quality factor performance ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1. p. 75-83.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 20 avr. 2017 17:42
Dernière modification: 20 avr. 2017 17:42
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15097

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