18-MHZ Silicon lame mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology

Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic. 2017. « 18-MHZ Silicon lame mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1. p. 67-74.
Compte des citations dans Scopus : 1.

Le plein texte de ce document n'est pas hébergé sur ce serveur.

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	20 avr. 2017 17:42
Dernière modification:	20 avr. 2017 17:42
URI:	http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15098

Actions (Authentification requise)

Dernière vérification avant le dépôt