Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic.
2017.
« 18-MHZ Silicon lamé mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1.
pp. 67-74.
Compte des citations dans Scopus : 7.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/jmems.2016.2607118
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Génie électrique |
| Date de dépôt: | 20 avr. 2017 17:42 |
| Dernière modification: | 19 oct. 2021 20:16 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15098 |
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