Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic.
2017.
« 18-MHZ Silicon lame mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1.
p. 67-74.
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| Type de document: |
Article publié dans une revue, révisé par les pairs
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| Professeur: |
| Professeur |
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| Nabki, Frédéric |
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| Affiliation: |
Génie électrique |
| Date de dépôt: |
20 avr. 2017 17:42 |
| Dernière modification: |
20 avr. 2017 17:42 |
| URI: |
http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15098 |
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