Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic.
2017.
« 18-MHZ Silicon lame mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1.
p. 67-74.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/jmems.2016.2607118
Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs | ||
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Professeur: |
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Affiliation: | Génie électrique | ||
Date de dépôt: | 20 avr. 2017 17:42 | ||
Dernière modification: | 20 avr. 2017 17:42 | ||
URI: | http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15098 |
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