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18-MHZ Silicon lame mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology

Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic. 2017. « 18-MHZ Silicon lame mode resonators with corner and central anchor architectures in a dual-wafer SOI technology ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1. p. 67-74.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 20 avr. 2017 17:42
Dernière modification: 20 avr. 2017 17:42
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15098

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