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Micro-optical thermally actuated platform in MUMPS technology

Li, Huijun, Stiharu, Ion, Muthukumaran, Packirisamy et Nerguizian, Vahé. 2005. « Micro-optical thermally actuated platform in MUMPS technology ». WSEAS Transactions on Circuits and Systems, vol. 4, nº 5. pp. 490-494.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nerguizian, Vahé
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 13 juin 2012 18:13
Dernière modification: 20 août 2015 15:44
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/1582

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