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A novel multi-level IC-compatible surface microfabrication technology for MEMS with independently controlled lateral and vertical submicron transduction gaps

Cicek, Paul-Vahe et Elsayed, Mohannad et Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad. 2017. « A novel multi-level IC-compatible surface microfabrication technology for MEMS with independently controlled lateral and vertical submicron transduction gaps ». Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 27, nº 11.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 28 nov. 2017 16:17
Dernière modification: 28 nov. 2017 16:17
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15986

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