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Infrastructure for the design and fabrication of MEMS for RF/microwave and millimeter wave applications

Nerguizian, Vahé et Rafaf, Mustapha. 2004. « Infrastructure for the design and fabrication of MEMS for RF/microwave and millimeter wave applications ». In Mems, Moems, and Micromachining (Strasbourg, France, Apr. 29-30, 2004) Coll. « Proceedings of SPIE », vol. 5455. pp. 202-211. USA : SPIE.

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Type de document: Compte rendu de conférence
ISBN: 0-8194-5378-1
Éditeurs:
Éditeurs
ORCID
Urey, H.
NON SPÉCIFIÉ
ElFatatry, A.
NON SPÉCIFIÉ
Professeur:
Professeur
Nerguizian, Vahé
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 18 avr. 2013 19:01
Dernière modification: 18 avr. 2013 19:01
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/4056

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