A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization

Elsayed, Mohannad, Nabki, Frederic, Sawan, Mohamad et El-Gamal, Mourad. 2011. « A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization ». In 2011 23rd International Conference on Microelectronics (ICM) (Hammamet, Tunisia, Dec. 19-22, 2011) pp. 1-5. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/ICM.2011.6177338

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:05
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:05
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13220

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