A combined comb / bulk mode gyroscope structure for enhanced sensitivity

Elsayed, Mohannad Y., Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2013. « A combined comb / bulk mode gyroscope structure for enhanced sensitivity ». In IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (Taipei, Taiwan, Jan. 20-24, 2013) pp. 649-652. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.2013.6474325

Type de document:	Compte rendu de conférence
ISBN:	10846999
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:06
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:06
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13221

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