Lamé resonator integrated with chevron-shaped thermal actuators to improve motional resistance and temperature stability

Kolahdouz-Moghaddam, Amir-Reza, Nabavi, Seyedfakhreddin et Nabki, Frederic. 2023. « Lamé resonator integrated with chevron-shaped thermal actuators to improve motional resistance and temperature stability ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 32, nº 3. pp. 229-240.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2023.3264692

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	30 mai 2023 20:51
Dernière modification:	11 juill. 2023 18:01
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/26492

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