Toward 2.5D structures for multi-channel MEMS acoustic-based digital isolators using through silicon openings

Sadrimanesh, Hamid, Blaquière, Yves et Nabki, Frederic. 2023. « Toward 2.5D structures for multi-channel MEMS acoustic-based digital isolators using through silicon openings ». In 21st IEEE Interregional NEWCAS Conference (NEWCAS) (Edinburgh, UK, June 26-28, 2023) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/NEWCAS57931.2023.10198138

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Blaquière, Yves Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	13 sept. 2023 19:09
Dernière modification:	13 sept. 2023 19:09
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/27668

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