Sensitivity analysis of novel PolyMUMPs-based ultrasonic MEMS microphones

Pournaki, Ilgar Jafarsadeghi, Heidari, Navid, Gratuze, Mathieu, Elsayed, Mohannad Y., Tawfik, Hani H. et Nabki, Frederic. 2023. « Sensitivity analysis of novel PolyMUMPs-based ultrasonic MEMS microphones ». In IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) (Montreal, QC, Canada, Sept. 03-08, 2023) IEEE Computer Society.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/IUS51837.2023.10307089

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	18 déc. 2023 19:40
Dernière modification:	18 déc. 2023 19:40
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/28207

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