An electrostatic micropositioner with 3 degrees-of-freedom

Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2023. « An electrostatic micropositioner with 3 degrees-of-freedom ». In IEEE Sensors (Vienna, Austria, Oct. 28-Nov. 01, 2023) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..

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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/SENSORS56945.2023.10325255

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	04 janv. 2024 20:39
Dernière modification:	04 janv. 2024 20:39
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/28231

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