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A 3 degrees-of-freedom electrothermal micro-positioner for optical chip-to-chip alignment

Rabih, Almur A. S., Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2024. « A 3 degrees-of-freedom electrothermal micro-positioner for optical chip-to-chip alignment ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 33, nº 2. pp. 260-273.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Ménard, Michaël
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt: 02 avr. 2024 15:51
Dernière modification: 10 mai 2024 16:13
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/28504

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