Rabih, Almur A. S., Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic.
2024.
« A 3 degrees-of-freedom electrothermal micro-positioner for optical chip-to-chip alignment ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 33, nº 2.
pp. 260-273.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2024.3371829
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Génie électrique, Génie électrique |
| Date de dépôt: | 02 avr. 2024 15:51 |
| Dernière modification: | 10 mai 2024 16:13 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/28504 |
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