Q-enhancement of piezo-on-silicon mems resonators through mode-coupling and topological tank configurations

Balghari, Suaid Tariq, Ali, Abid et Nabki, Frederic. 2024. « Q-enhancement of piezo-on-silicon mems resonators through mode-coupling and topological tank configurations ». In Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop (Hilton Head Island, SC, USA, June 02-06, 2024) pp. 39-42. Transducer Research Foundation.

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URL Officielle: https://doi.org/10.31438/TRF.HH2024.10

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	04 sept. 2025 13:01
Dernière modification:	04 sept. 2025 13:01
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/31609

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