Balghari, Suaid Tariq, Ali, Abid, Gratuze, Mathieu et Nabki, Frederic.
2025.
« Mechanical mode coupled piezo-on-silicon bulk acoustic wave MEMS resonators in tank configuration for Q-enhancement ».
Journal of Microelectromechanical Systems.
(Sous presse)
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2025.3643897
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Génie électrique |
| Date de dépôt: | 15 janv. 2026 21:48 |
| Dernière modification: | 15 janv. 2026 21:48 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33233 |
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