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Surface-micromachined CMUT using low-temperature deposited silicon carbide membranes for above-IC integration

Zhang, Qing et Cicek, Paul-Vahe et Allidina, Karim et Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2014. « Surface-micromachined CMUT using low-temperature deposited silicon carbide membranes for above-IC integration ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 23, nº 2. p. 482-493.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 17:40
Dernière modification: 13 juill. 2016 17:40
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13204

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