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Low-temperature wafer level processing for MEMS devices

El-Gamal, Mourad et Lemoine, Dominique et Cicek, Paul-Vahe et Nabki, Frederic (inventeurs) 24 Novembre 2015. « Low-temperature wafer level processing for MEMS devices ». The Royal Institution for the Advancement of Learning/McGill University (titulaire(s)). Brevet américain US 9,193,583.

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Type de document: Brevet (Brevet américain)
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 10 nov. 2016 21:16
Dernière modification: 10 nov. 2016 21:16
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13910

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