ENGLISH
La vitrine de diffusion des publications et contributions des chercheurs de l'ÉTS
RECHERCHER

Low-hysteresis and fast response time humidity sensors using suspended functionalized carbon nanotubes

Arunachalam, Shivaram, Izquierdo, Ricardo et Nabki, Frederic. 2019. « Low-hysteresis and fast response time humidity sensors using suspended functionalized carbon nanotubes ». Sensors, vol. 19, nº 3.
Compte des citations dans Scopus : 33.

[thumbnail of Nabki F 2019 18210.pdf]
Prévisualisation
PDF
Nabki F 2019 18210.pdf - Version publiée
Licence d'utilisation : Creative Commons CC BY.

Télécharger (4MB) | Prévisualisation

Résumé

A humidity sensor using suspended carbon nanotubes (CNTs) was fabricated using a low-temperature surface micromachining process. The CNTs were functionalized with carboxylic acid groups that facilitated the interaction of water vapor with the CNTs. The humidity sensor showed a response time of 12 s and a recovery time of 47 s, along with superior hysteresis and stable performance. The hysteresis curve area of the suspended structure is 3.6, a 3.2-fold reduction in comparison to the non-suspended structure. A comparative study between suspended and non-suspended devices highlights the advantages of using a suspended architecture.

Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Izquierdo, Ricardo
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt: 07 mars 2019 17:26
Dernière modification: 22 janv. 2020 20:10
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/18210

Actions (Authentification requise)

Dernière vérification avant le dépôt Dernière vérification avant le dépôt