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Modeling of electrostatically actuated cylindrical-waveguide-based optical microsystem

Pendyala, Srinivasa R. et Packirisamy, Muthukumaran et Stiharu, Ion et Sivakumar, Narayanswamy et Nerguizian, Vahé. 2005. « Modeling of electrostatically actuated cylindrical-waveguide-based optical microsystem ». In MOEMS and Miniaturized Systems V (San Jose, CA, USA, Jan. 25-26, 2005) Coll. « Proceedings of SPIE », vol. 5719. , p. 30-37. USA : SPIE.

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Type de document: Compte rendu de conférence
Professeur:
Professeur
Nerguizian, Vahé
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 24 juill. 2013 20:42
Dernière modification: 24 juill. 2013 20:42
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/4960

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