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Micro-optical thermally actuated platform in MUMPS technology

Li, Huijun et Stiharu, Ion et Packirisamy, Muthukumaran et Nerguizian, Vahé. 2005. « Micro-optical thermally actuated platform in MUMPS technology ». In 4th WSEAS International Conference on Electronics, Signal Processing and Control (ESPOCO) (Rio de Janeiro, Brazil, Apr. 25-27, 2005)

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Type de document: Compte rendu de conférence
Professeur:
Professeur
Nerguizian, Vahé
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 24 juill. 2013 20:44
Dernière modification: 20 août 2015 15:45
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/5421

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