Zhang, Qing, Cicek, Paul-Vahe, Allidina, Karim, Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N..
2014.
« Surface-micromachined CMUT using low-temperature deposited silicon carbide membranes for above-IC integration ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 23, nº 2.
pp. 482-493.
Compte des citations dans Scopus : 32.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2013.2281304
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Autres |
| Date de dépôt: | 13 juill. 2016 17:40 |
| Dernière modification: | 13 juill. 2016 17:40 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13204 |
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