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Low-friction, high-speed rotary 3-phase micromotor using the PolyMUMPS process

Gour, Amit, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2020. « Low-friction, high-speed rotary 3-phase micromotor using the PolyMUMPS process ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 29, nº 4. pp. 532-543.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Ménard, Michaël
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres, Génie électrique
Date de dépôt: 12 nov. 2020 21:43
Dernière modification: 16 août 2023 16:19
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/21395

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