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High torque electrostatic micromotor fabricated using polymumps for optical scanning applications

Gour, Amit, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2021. « High torque electrostatic micromotor fabricated using polymumps for optical scanning applications ». In 34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (Gainesville, FL, USA, Jan. 25-29, 2021) pp. 716-719. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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Type de document: Compte rendu de conférence
ISBN: 10846999
Professeur:
Professeur
Ménard, Michaël
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres, Génie électrique
Date de dépôt: 30 avr. 2021 18:34
Dernière modification: 16 nov. 2022 19:22
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/22531

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