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Integrated MEMS passive strain sensor with a direct-contact resistive detection mechanism

Prud'homme, Alberto, Okulov, Paul D. et Nabki, Frederic. 2026. « Integrated MEMS passive strain sensor with a direct-contact resistive detection mechanism ». Journal of Microelectromechanical Systems.
(Sous presse)

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):
Chercheur(-euse)
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 12 mai 2026 14:37
Dernière modification: 12 mai 2026 14:37
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33740

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