Mechanical–thermochemical removal mechanisms in high‑aspect‑ratio hole fabrication by Mechanical-Spark Assisted Chemical Engraving (M−SACE) in silicon nitride

Villeneuve, Guillaume, Wuthrich, Rolf et Hof, L.ucas A.. 2026. « Mechanical–thermochemical removal mechanisms in high‑aspect‑ratio hole fabrication by Mechanical-Spark Assisted Chemical Engraving (M−SACE) in silicon nitride ». Materials and Design, vol. 269.

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URL Officielle: https://doi.org/10.1016/j.matdes.2026.116664

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Hof, Lucas
Affiliation:	Génie mécanique
Date de dépôt:	11 août 2026 20:16
Dernière modification:	11 août 2026 20:16
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/34200

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