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Structures and methods for stress and gap mitigation in integrated optics microelectromechanical systems

Ménard, François, Brière, Jonathan, Bérard, Martin, Bruder, Maël, Nabki, Frédéric, Ménard, Michaël, Elsayed, Mohannad, Sharma, Suraj et Michel, Damien (inventeurs) 17 février 2026. « Structures and methods for stress and gap mitigation in integrated optics microelectromechanical systems ». Ménard, François, Brière, Jonathan, Bérard, Martin, Bruder, Maël, Nabki, Frédéric, Ménard, Michaël, Elsayed, Mohannad, Sharma, Suraj, Michel, Damien (titulaire(s)). Brevet américain US 12,554,065.

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Type de document: Brevet (Brevet américain)
Chercheur(-euse):
Chercheur(-euse)
Nabki, Frédéric
Ménard, Michaël
Affiliation: Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt: 24 sept. 2026 14:02
Dernière modification: 24 sept. 2026 14:02
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/34421

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