La vitrine de diffusion des publications et contributions des chercheurs de l'ÉTS
RECHERCHER

A novel technique for die-level post-processing of released optical MEMS

Elsayed, Mohannad Y. et Beaulieu, Philippe-Olivier et Briere, Jonathan et Menard, Michael et Nabki, Frederic. 2016. « A novel technique for die-level post-processing of released optical MEMS ». Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 26, nº 5.

Le plein texte de ce document n'est pas hébergé sur ce serveur.
Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Autres
Date de dépôt: 13 juill. 2016 17:41
Dernière modification: 13 juill. 2016 17:41
URI: http://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13194

Actions (Authentification requise)

Dernière vérification avant le dépôt Dernière vérification avant le dépôt