Elsayed, Mohannad Y., Beaulieu, Philippe-Olivier, Briere, Jonathan, Menard, Michael et Nabki, Frederic.
2016.
« A novel technique for die-level post-processing of released optical MEMS ».
Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 26, nº 5.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/26/5/057001
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Autres, Autres |
| Date de dépôt: | 13 juill. 2016 17:41 |
| Dernière modification: | 16 août 2023 16:28 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13194 |
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