A novel prototyping method for die-level monolithic integration of MEMS above-IC

Cicek, Paul-Vahe, Zhang, Qing, Saha, Tanmoy, Mahdavi, Sareh, Allidina, Karim, Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad. 2013. « A novel prototyping method for die-level monolithic integration of MEMS above-IC ». Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 23, nº 6. 065013.
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Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 17:41
Dernière modification:	13 juill. 2016 17:41
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13192

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