Design of a low-cost MEMS monolithically-integrated relative humidity sensor

Cicek, Paul-Vahe, Saha, Tanmoy, Waguih, Bichoy, Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2010. « Design of a low-cost MEMS monolithically-integrated relative humidity sensor ». In 2010 International Conference on Microelectronics (ICM'10) (Cairo, Egypt, Dec. 19-22, 2010) pp. 172-175. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/ICM.2010.5696107

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:08
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:08
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13213

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