MEMS wafer-level vacuum packaging with transverse interconnects for CMOS integration

Lemoine, Dominique, Cicek, Paul-Vahe, Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2008. « MEMS wafer-level vacuum packaging with transverse interconnects for CMOS integration ». In IEEE 2008 Custom Integrated Circuits Conference (CICC) (San Jose, CA, USA, Sept. 21-24, 2008) pp. 189-192. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/CICC.2008.4672055

Type de document:	Compte rendu de conférence
ISBN:	08865930
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:02
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:02
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13229

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