Low-temperature (<300°C) low-stress silicon carbide surface micromachining fabrication technology

Nabki, Frederic, Dusatko, Tomas A., Vengallatore, Srikar et El-Gamal, Mourad N.. 2008. « Low-temperature (<300°C) low-stress silicon carbide surface micromachining fabrication technology ». In Solid-state sensors, actuators, and microsystems workshop : technical digest (Hilton Head Island, SC, USA, June 1-5, 2008) pp. 216-219. San Diego, Calif. : Transducer Research Foundation.

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Type de document:	Compte rendu de conférence
Éditeurs:	Éditeurs ORCID Turner, Kimberly L. NON SPÉCIFIÉ Spangler, Leland NON SPÉCIFIÉ
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:04
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:04
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13234

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