Measurement and analysis of structural damping in silicon carbide microresonators

Prabhakar, Sairam, Nabki, Frederic, Mourad, El-Gamal et Vengallatore, Srikar. 2009. « Measurement and analysis of structural damping in silicon carbide microresonators ». In Microelectromechanical Systems - Materials and Devices II (Boston, MA, USA, Dec. 1-2, 2008) Coll. « MRS Proceedings », vol. 1139. pp. 47-52. Materials Research Society.
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Type de document:	Compte rendu de conférence
ISBN:	02729172
Informations complémentaires:	2008 MRS Fall Meeting
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:05
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:05
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13238

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