A MEMS-based temperature-compensated vacuum sensor for low-power monolithic integration

Taghvaei, M. A., Cicek, Paul-Vahe, Allidina, Karim, Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N.. 2010. « A MEMS-based temperature-compensated vacuum sensor for low-power monolithic integration ». In 2010 IEEE International Symposium on Circuits and Systems: Nano-Bio Circuit Fabrics and Systems (ISCAS) (Paris, France, May 30-June 2, 2010) pp. 3276-3279. IEEE Computer Society.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/ISCAS.2010.5537914

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	13 juill. 2016 18:02
Dernière modification:	13 juill. 2016 18:02
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/13245

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