Modeling and process design optimization of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUT) using lumped elements parameters

Amar, Achraf Ben, Cao, Hung et Kouki, Ammar B.. 2017. « Modeling and process design optimization of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUT) using lumped elements parameters ». Microsystem Technologies, vol. 23, nº 10. pp. 4659-4669.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-3205-8

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Kouki, Ammar B.
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	16 déc. 2016 14:48
Dernière modification:	22 janv. 2020 20:00
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/14166

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