Piezoelectric bulk mode disk resonator post-processed for enhanced quality factor performance

Elsayed, Mohannad Y. et Nabki, Frederic. 2017. « Piezoelectric bulk mode disk resonator post-processed for enhanced quality factor performance ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 26, nº 1. pp. 75-83.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/jmems.2016.2633385

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	20 avr. 2017 17:42
Dernière modification:	22 janv. 2020 20:10
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15097

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