Atikian, Haig A., Latawiec, Pawel, Burek, Michael J., Sohn, Young-Ik, Meesala, Srujan, Gravel, Normand, Kouki, Ammar B. et Lončar, Marko.
2017.
« Freestanding nanostructures via reactive ion beam angled etching ».
APL Photonics, vol. 2, nº 5.
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Kouki A. 2017 15255 Freestanding nanostructures via reactive.pdf - Version publiée Licence d'utilisation : Creative Commons CC BY. Télécharger (6MB) | Prévisualisation |
Résumé
Freestanding nanostructures play an important role in optical and mechanical devices for classical and quantum applications. Here, we use reactive ion beam angled etching to fabricate optical resonators in bulk polycrystalline and single crystal diamond. Reported quality factors are approximately 30 000 and 286 000, respectively. The devices show uniformity across 25 mm samples, a significant improvement over comparable techniques yielding freestanding nanostructures.
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Informations complémentaires: | Identifiant de l'article: 051301 |
| Professeur: | Professeur Kouki, Ammar B. |
| Affiliation: | Génie électrique |
| Date de dépôt: | 15 mai 2017 19:15 |
| Dernière modification: | 22 janv. 2020 20:00 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/15255 |
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