Spark assisted chemical engraving (SACE) in microfactory

Wuthrich, R., Fujisaki, K., Couthy, P., Hof, L. A. et Bleuler, H.. 2005. « Spark assisted chemical engraving (SACE) in microfactory ». Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 15, nº 10. pp. 276-280.
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Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Hof, Lucas
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	25 sept. 2018 19:34
Dernière modification:	25 sept. 2018 19:34
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/17335

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