Physical principles and miniaturization of Spark Assisted Chemical Engraving (SACE)

Wuthrich, R., Hof, L. A., Lal, A., Fujisaki, K., Bleuler, H., Mandin, P. et Picard, G.. 2005. « Physical principles and miniaturization of Spark Assisted Chemical Engraving (SACE) ». Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 15, nº 10. pp. 268-275.
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Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Hof, Lucas
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	25 sept. 2018 19:34
Dernière modification:	25 sept. 2018 19:34
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/17337

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