A novel topology for process variation-tolerant piezoelectric micromachined ultrasonic transducers

Robichaud, Alexandre, Deslandes, Dominic, Cicek, Paul-Vahe et Nabki, Frederic. 2018. « A novel topology for process variation-tolerant piezoelectric micromachined ultrasonic transducers ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 27, nº 6. pp. 1204-1212.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2018.2876384

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Deslandes, Dominic Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	19 nov. 2018 20:28
Dernière modification:	22 janv. 2020 20:10
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/17574

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