Alfaifi, Ahmad, Alhomoudi, Ibrahim A., Nabki, Frederic et El-Gamal, Mourad N..
2019.
« In-plane high-sensitivity capacitive accelerometer in a 3-D CMOS-compatible surface micromachining process ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 28, nº 1.
pp. 14-24.
Compte des citations dans Scopus : 5.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2018.2877736
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Génie électrique |
| Date de dépôt: | 04 déc. 2018 20:23 |
| Dernière modification: | 19 oct. 2021 20:15 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/17686 |
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